An Improved Three-Probe Method for Precision Measurement of Straightness

This paper presents a scanning three-probe method for precision measurement of straightness. This method employs two three-probe units, which are placed on the two sides of a cylindrical workpiece. The error motions of the scanning stage can be cancelled by taking the differential output in each of the probe units. A new algorithm is proposed for calculation and compensation of the difference between the zero-values of the probes, which appears in the differential output as an unknown. Zusammenfassung Dieser Beitrag stellt eine Drei-Sensoren-Methode für die präzise Messung der Geradheit vor. Die Methode verwendet zwei mit jeweils drei Abtastsensoren bestückte Einheiten, die an den zwei Seiten eines zylindrischen Werkstücks platziert werden. Die Fehlerbe- wegungen des Messtisches können beseitigt werden, indem man das differenzierte Ausgangssignal in jeder der Sensoreinheiten bestimmt. Es wird ein neuer Algorithmus für die Berechnung und Kompensierung des Sensornullwertes vorgeschlagen, der im differenzierten Ausgang als Unbekannte erscheint.