年別の研究成果
年別の研究成果
検索結果
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2021
Flash lamp annealing processing to improve the performance of high-Sn content GeSn n-MOSFETs
Oka, H., Mizubayashi, W., Ishikawa, Y., Uchida, N., Mori, T. & Endo, K., 2021 9月, In: Applied Physics Express. 14, 9, 096501.研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 総説 › 査読
Open Access4 被引用数 (Scopus) -
2019
Microwave Annealing Technologies for Variability Reduction of Nanodevices: A Review of Their Impact on FinFETs
Endo, K. & Lee, Y. J., 2019 12月, In: IEEE Nanotechnology Magazine. 13, 6, p. 34-38 5 p., 8862822.研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 総説 › 査読
1 被引用数 (Scopus) -
2006
New fabrication technology of fin field effect transistors using neutral-beam etching
Endo, K., Noda, S., Ozaki, T., Samukawa, S., Masahara, M., Liu, Y., Ishii, K., Takashima, H., Sugimata, E., Matsukawa, T., Yamauchi, H., Ishikawa, Y. & Suzuki, E., 2006 6月 20, In: Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers. 45, 6 B, p. 5513-5516 4 p.研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 総説 › 査読
4 被引用数 (Scopus)