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プロファイル
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研究成果
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A combinatorial study of metal gate/HfO
2
MOSCAPS
M. L. Green, K. S. Chang, I. Takeuchi, T. Chikyow
研究成果
:
Conference contribution
概要
フィンガープリント
フィンガープリント
「A combinatorial study of metal gate/HfO
2
MOSCAPS」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
並べ替え順
重み付け
アルファベット順
Chemistry
Metal
100%
Voltage
25%
Current Density
25%
Dielectric Material
25%
Leakage Current
25%
Wavelength Dispersive Spectroscopy
25%
Procedure
25%
Phase Composition
25%
Alloy
25%
Sputtering
25%
Work Function
25%
Material Science
Electrode
50%
Thin Films
25%
Dielectric Material
25%