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Adhesion of Si and LiNbO
3
via Perhydropolysilazane for Photonic Substrate Fabrication
Kei Hishinuma
,
Kai Takeuchi
,
Eiji Higurashi
工学研究科・電子工学専攻
Tohoku University
研究成果
:
書籍の章/レポート/Proceedings
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会議への寄与
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査読
概要
フィンガープリント
フィンガープリント
「Adhesion of Si and LiNbO
3
via Perhydropolysilazane for Photonic Substrate Fabrication」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
並べ替え順
重み付け
アルファベット順
Engineering
Adhesive Layer
50%
Bonding Process
50%
Bonding Strength
50%
Hydrophilic Surface
50%
Photonics
100%
Room Temperature
100%
Silica (Sio2)
50%
Silicon Dioxide
50%
Material Science
Silicon Dioxide
100%
Surface Roughness
50%