Au Flat Micro-Bump Arrays Fabricated by Transfer and Coining of Au Thin Films

Shintaro Goto, Kai Takeuchi, Le Hac Huong Thu, Takashi Matsumae, Hideki Takagi, Yuichi Kurashima, Eiji Higurashi

研究成果: 書籍の章/レポート/Proceedings会議への寄与査読

抄録

Au flat micro-bump arrays that facilitate low-pressure Au-Au bonding were fabricated by the process based on Au thin film transfer and coining of Au hollow structure. High die shear strength was achieved between Au flat bumps and Au sputter films with a low bonding pressure of 10 MPa at 150°C.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトル2024 8th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2024
出版社Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
ISBN(電子版)9798331519919
DOI
出版ステータス出版済み - 2024
イベント8th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2024 - Nara, 日本
継続期間: 2024 10月 302024 11月 1

出版物シリーズ

名前2024 8th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2024

会議

会議8th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2024
国/地域日本
CityNara
Period24/10/3024/11/1

フィンガープリント

「Au Flat Micro-Bump Arrays Fabricated by Transfer and Coining of Au Thin Films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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