Electron microscopy analysis of dislocation behavior in HVPE-AlGaN layer grown on a stripe-patterned (0 0 0 1) sapphire substrate

Noriyuki Kuwano, Yuta Kugiyama, Yutaka Nishikouri, Tadashige Sato, Akira Usui

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術論文査読

10 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Electron microscopy analysis of dislocation behavior in HVPE-AlGaN layer grown on a stripe-patterned (0 0 0 1) sapphire substrate」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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