Evaluation of mev si implanted si using beam acoustic method

Hisato Ogiso, Shizuka Nakano, Yoshihiko Nagata, Kazushi Yamanaka, Toshio Koda

研究成果: Article › 査読

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Evaluation of mev si implanted si using beam acoustic method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics