Fabrication of through silicon via with highly phosphorus-doped polycrystalline Si plugs for driving an active-matrix nanocrystalline Si electron emitter array

Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Akira Kojima, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi

研究成果: 書籍の章/レポート/Proceedings会議への寄与査読

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フィンガープリント

「Fabrication of through silicon via with highly phosphorus-doped polycrystalline Si plugs for driving an active-matrix nanocrystalline Si electron emitter array」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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