Ferromagnetic RF integrated inductor with closed magnetic circuit structure

Masahiro Yamaguchi, Seok Bae, Ki Hyeon Kim, Kenji Tan, Takayuki Kusumi, Kiyoshi Yamakawa

研究成果: 書籍の章/レポート/Proceedings会議への寄与査読

28 被引用数 (Scopus)

抄録

Closed magnetic circuit type ferromagnetic RF integrated inductors have been fabricated based on MEMS-like micro fabrication techniques. The taper etching process greatly helped to endure sufficient magnetic flux flow at the edge of the top and bottom magnetic layers. Air cores and three different sandwich type ferromagnetic inductos are also microfabricated. Measured results exhibited the quality factor Q=12, being highest among the published data of ferromagnetic RF integrated Inductor at 1 GHz.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトル2005 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest
ページ351-354
ページ数4
DOI
出版ステータス出版済み - 2005
イベント2005 IEEE MTT-S International Microwave Symposium - Long Beach, CA, 米国
継続期間: 2005 6月 122005 6月 17

出版物シリーズ

名前IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest
2005
ISSN(印刷版)0149-645X

会議

会議2005 IEEE MTT-S International Microwave Symposium
国/地域米国
CityLong Beach, CA
Period05/6/1205/6/17

フィンガープリント

「Ferromagnetic RF integrated inductor with closed magnetic circuit structure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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