Influence of seed/crystal interface shape on dislocation generation in Czochralski Si crystal growth

Toshinori Taishi, Yutaka Ohno, Ichiro Yonenaga, Keigo Hoshikawa

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術論文査読

9 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Influence of seed/crystal interface shape on dislocation generation in Czochralski Si crystal growth」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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