InGaAs HEMTs with T-gate electrodes formed by multi-layer SiCN molds

Tomohiro Yoshida, Kengo Kobayashi, Taiichi Otsuji, Tetsuya Suemitsu

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術論文査読

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「InGaAs HEMTs with T-gate electrodes formed by multi-layer SiCN molds」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Material Science

Chemical Engineering