Mechanical strength of oxygen-doped float-zone silicon crystals

Koji Sumino, Ichiro Yonenaga, Atsushi Yusa

研究成果: Article査読

22 被引用数 (Scopus)

抄録

The characteristics of the mechanical properties of float-zone silicon crystals doped with oxygen at concentrations of 1.01.5×1017 cm−3 are investigated. The strength of the doped crystals is measured to be considerably higher than that of ordinary float-zone crystals. The high strength of such doped crystals is found to be retained even after heat-treatment at 1050°C, which softens Czochralski silicon crystals drastically.

本文言語English
ページ(範囲)L763-L766
ジャーナルJapanese journal of applied physics
19
12
DOI
出版ステータスPublished - 1980 12月
外部発表はい

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「Mechanical strength of oxygen-doped float-zone silicon crystals」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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