Nanocrystalline diamond formation by using an inductively coupled radio-frequency CH4/H2/Ar plasma

Reijiro Ikada, Satoru Iizuka

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Nanocrystalline diamond formation by using an inductively coupled radio-frequency CH4/H2/Ar plasma」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics