Ni silicidation on Heavily Doped Si Substrates

Parhat Ahmet, Takashi Shiozawa, Koji Nagahiro, Takahiro Nagata, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Toyohiro Chikyow, Hiroshi Iwai

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Ni silicidation on Heavily Doped Si Substrates」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Material Science