Oxidation states of GaAs surface and their effects on neutral beam etching during nanopillar fabrication

C. Thomas, Y. Tamura, M. E. Syazwan, A. Higo, S. Samukawa

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Oxidation states of GaAs surface and their effects on neutral beam etching during nanopillar fabrication」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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