Room-temperature bonding of AlN ceramic and Si semiconductor substrates for improved thermal management

Takashi Matsumae, Yuichi Kurashima, Hideki Takagi, Kazunori Nishizono, Tsutomu Amano, Eiji Higurashi

研究成果: 書籍の章/レポート/Proceedings会議への寄与査読

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Room-temperature bonding of AlN ceramic and Si semiconductor substrates for improved thermal management」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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