Room temperature SiC-SiO2 wafer bonding enhanced by using an intermediate si nano layer

F. Mu, K. Iguchi, H. Nakazawa, Y. Takahashi, R. He, M. Fujino, T. Suga

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術論文査読

11 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Room temperature SiC-SiO2 wafer bonding enhanced by using an intermediate si nano layer」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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