Self-formation of Ti-rich layers at Cu(Ti)/low-k interfaces

Kazuyuki Kohama, Kazuhiro Ito, Susumu Tsukimoto, Kenichi Mori, Kazuyoshi Maekawa, Masanori Murakami

    研究成果: Conference contribution

    フィンガープリント

    「Self-formation of Ti-rich layers at Cu(Ti)/low-k interfaces」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Chemistry

    Physics

    Biochemistry, Genetics and Molecular Biology

    Material Science