Tight-binding quantum chemical molecular dynamics simulation of mechano-chemical reactions during chemical-mechanical polishing process of SiO 2 surface by CeO 2 particle

Arivazhagan Rajendran, Yasufumi Takahashi, Michihisa Koyama, Momoji Kubo, Akira Miyamoto

研究成果: ジャーナルへの寄稿会議記事査読

85 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Tight-binding quantum chemical molecular dynamics simulation of mechano-chemical reactions during chemical-mechanical polishing process of SiO 2 surface by CeO 2 particle」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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