W/Cu TSVs for 3D-LSI with minimum thermo-mechanical stress

Mariappan Murugesan, Hideto Hashiguchi, Harufumi Kobayashi, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi

研究成果: Conference contribution

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「W/Cu TSVs for 3D-LSI with minimum thermo-mechanical stress」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Material Science